Pomiar profili wafli krzemowych

Pomiar profili wafli krzemowych = WATOM

Analizator WATOM może przeprowadzać w pełni automatyczne, bezdotykowe pomiary profili krawędzi i średnicy zgodnie ze standardami SEMICON. Cechą szczególną jest zdolność systemu do dokonywania pomiarów znacznika wciętego w krawędź wafla w celu wskazania orientacji kryształów. Ze względu na jego dużą dokładność pomiarową poniżej 1,5 µm czołowi producenci wafli krzemowych na świecie korzystają z analizatora WATOM do kontroli jakości geometrii w zakładach produkcyjnych.