Mesure du profil d'arête de wafer

Mesure du profil d'arête de wafer = WATOM

Le WATOM est utilisé pour la mesure entièrement automatique et sans contact des profils d'arête et du diamètre, en conformité avec les standards SEMICON. Sa particularité est de pouvoir mesurer l'encoche qui indique l'orientation cristalline. De par sa haute précision de mesure inférieure à 1,5 µm, le WATOM est un système intéressant pour de nombreux producteurs de wafer renommés, au suivi de qualité géométrique lors du contrôle de production.