Wafer-Kantenprofilbestimmung

Wafer-Kantenprofilbestimmung = WATOM

WATOM wird zur vollautomatischen, berührungslosen Vermessung der Kantenprofile und des Durchmessers gemäß SEMICON-Standards eingesetzt. Eine Besonderheit ist die Vermessung der eingeschliffenen Markierung zur Angabe der Kristallorientierung. Führende Waferhersteller weltweit verwenden WATOM aufgrund seiner hohen Messgenauigkeit von unter 1,5 µm zur fertigungsbegleitenden, geometrischen Qualitätsprüfung.