Six-Sigma in der Siliziumkarbid-Substratherstellung mit LOTOS 3D-Messystemen.

Das Erreichen der strengen Null-Fehler-Strategie in der Automobilindustrie wird zu einer großen Herausforderung für die Hersteller von Siliziumkarbid-Substraten. Sowohl die Umstellung von 150- auf 200-mm-Wafer, als auch die generelle Verlagerung ihres Schwerpunktes weg von reinem Silizium, zwingen die Hersteller um ausreichende Erträge und Zuverlässigkeit zu ringen.

SiC ist eine Kombination aus Silizium und härteren Karbidmaterialien und hat sich aufgrund seiner großen Bandlücke zu einer Schlüsseltechnologie für batteriebetriebene Elektrofahrzeuge entwickelt. Siliziumkarbid funktioniert bei höherer Leistung, höheren Temperaturen und höheren Schaltfrequenzen als Silizium. Diese Eigenschaften können genutzt werden, um die Reichweite von Elektrofahrzeugbatterien zu erhöhen und die Ladezeit zu verkürzen.

"Die Leute wollen ihr Auto in weniger als 10 bis 15 Minuten aufladen, und das wird sich weiter entwickeln", sagte Sam Geha, CEO von Infineon Technologies' Memory Solutions. "Das erfordert Siliziumkarbid und andere Technologien sowie eine stärkere Automatisierung.“

LOTOS 3D-Messysteme helfen bei Umsetzung der Null-Fehler-Strategie hin zu Produktionsprozessen mit hoher Ausbeute ohne jeglichen Ausschuss. Bereits kurz nach der Kristallzucht können die Siliziumkarbid-Blöcke auf geometrische Größen geprüft werden, sodass in den nachfolgenden Produktionsprozessen kein Ausschuss mehr entstehen kann.

LOTOS kontrolliert alle gängigen Parameter wie Außendurchmesser und Durchmesser am Primär- und Sekundär-Flat, die Flat-Längen, die Notch-Kontur, sowie deren genaue Winkelpositionen.

Die Sicherstellung höchster Produktqualität ist besonders bei der Herstellung von Lebensmitteln ein vorrangiges und unverzichtbares Ziel. Eine bedeutende Rolle spielt dabei die Dichtigkeit der Produktbehälter.

Durch Leckagen kann deren Inhalt nach außen dringen. Viel wesentlicher ist aber, dass Keime in den Behälter eindringen und dadurch die Produkte verderben.

Die Vakuumprüfsysteme INDEC überwachen die Dichtigkeit von Behältern vollautomatisch direkt im Produktionsprozess. Verschiedenste Behältnisse wie Flaschen, Gläser und Dosen werden berührungslos auf ihre Dichtheit geprüft und schadhafte Gebinde werden aus dem Produktstrom entfernt.

Mitunter sind jedoch die finanziellen Mittel bei kleinen Lebensmittelherstellern begrenzt, um in ein neues Komplettsystem zur Verschlußkontrolle zu investieren. Aus diesem Grund haben wir jetzt das preissensitive Basissystem INDEC VD 80 entwickelt und in den Markt eingeführt. Das INDEC VD 80 beinhaltet lediglich die drei Kernkomponenten Anzeigeeinheit, Anschlußeinheit sowie den Sensorkopf. Die erforderlichen Gestellbauteile zur Aufnahme und Ausrichtung des Sensorkopfes sowie zur Halterung der Anzeigeeinheit und des Anschlußkasten existieren vielfach aus bisher verwendeten Altsensoren, welche nach über 15 Jahren Nutzungszeit nicht mehr wirtschaftlich  reparabel sind. Mit einem geringen Aufwand können diese modifiziert werden, um die neuen Kernkomponenten aufzunehmen.  Hinsichtlich des Funktionsumfanges und der Zuverlässigkeit unterscheidet sich das INDEC VD 80 in keiner Weise vom INDEC VD 100.