Wafer Geometry Inspector

Systemüberblick

Aufbau

• Aufbau aller Komponenten in geschlossenem Rack
• Schwingungsabsorption durch massive Granitplatte mit zentral regelbaren Luftdämpferelementen
• Präzisionsdreheinheit mit PEEK-Waferchuck und Vakuumfixierung oder PEEK-Randgreifsystem
• Präzisions-Lineareinheiten zur Sensor-Positionierung
• Intelligente Lichtschnittsensorik mit extrem kurzen Lininenlängen und Laserschutzklasse 2 (DIN EN 60825-1)
• Optionale Profilprojektionseinheit mit telezentrischem Aufbau
• Präzisionskamerasystem für Aufsichtsmessung
• Robuster Hochleistungs-Industrie-PC
• Großflächiger Flow-Unit mit U16-Filter und einstellbarem Luftstrom
• Gewicht ca. 250 kg

Standards

• Alle Abläufe, Auswertungen nach SEMI-Richtlinien
• Datenschnittstellen nach SECS II/GEM-Standards
• SEMI-, CE- und ROHS-konform
• Entspricht EG-Maschinenrichtlinie

Genauigkeiten

Für die vom Messsystem berechneten Parameter wurden die nachfolgenden Genauigkeiten ermittelt.