Wafer Geometry Inspector
Ergebnisse Profilmessung
- Geometrische Kenngrößen einer Waferkante
Zu den ausgewerteten Ergebnissen gehören u.a. folgende geometrische Größen, die auch für die Kante im Bereich des Notches bestimmt werden:
- Facettenlängen A1, A2
- Steglängen B, Bw, B1, B2
- Flankenwinkel Ang1, Ang2
- Radien R1, R2
- Waferdicke T
Profilverformung
Profilverformungen lassen sich am besten mit einem detaillierten geometrischen Vergleich zwischen gemessenem Profil (Punktewolke) und der berechneten Kontur erkennen. Als Maß wird hierbei die maximale Abweichung herangezogen.
Ergebnisse Aufsichtsmessung
Die Ergebnisparameter der Aufsichtsmessung dienen zur vollständigen geometrischen Charakterisierung des Notches.
Spezifische Auswertungen
Mit den optionalen Auswertemodulen können spezifische Werte berechnet werden. Dazu gehören ebenso Rückkoppelwerte für Fertigungsanlagen wie auch geometrische Parameter von Schleifriefen.