Positionierung

Die Einstellung der einzelnen Messpositionen am Waferumfang übernimmt ein Präzisionsdrehtisch, auf dem der Wafer auf einem PEEK-Waferchuck durch Unterdruck fixiert ist. Die exakte Erkennung der Scheibenorientierung erfolgt hierbei durch das Kamerasystem Aufsicht. Als Referenz dient die Notchposition.