Messprinzip

Die zentrale Messeinheit be-steht aus 3 übereinander angeordneten Lichtschnittsensoren. Jeder dieser Sensoren erfasst simultan einen Teilbereich der Waferkante. Diese 3 Teilprofile werden automatisch zu einem Gesamtprofil zusammengesetzt.

Diese Messung erfolgt nacheinander an beliebig vielen Positionen am Waferumfang. Die Mittelung aller aufgenommenen Profile dient zur Erhöhung der Wiederholgenauigkeit.