Lichtschnittsensoren

Die Profilmessung an der Waferkante erfolgt mit Hilfe von ARDAS-LS Lichtschnittsensoren. Diese detektieren das Streulicht einer auf die Probenoberfläche projizierten Laserlinie. Unterschiedliche Reflexionseigenschaften der Waferoberfläche werden durch permanentes Nachregeln der Laserintensität automatisch ausgeglichen.

Durch die extrem kurzen Längen der Lichtschnittlinie (ca. 1,5 mm) werden Messgenauigkeiten von bis zu 1 µm erreicht.

Neben den extrem hohen Genauigkeiten besitzt die eingesetzte Lichtschnitttechnik einen weiteren entscheidenden Vorteil. Im Gegensatz zu den üblichen Profilprojektionseinrichtungen ist eine Erfassung des Kantenprofils auch im Bereich des Notches möglich.