Auswertung

Aus den erfassten und gemittelten Messpunkteverläufen werden automatisch die jeweiligen mathematischen Konturen berechnet. Die hierfür notwendigen Algorithmen sind in der Software hinterlegt.

Die mathematische Kontur ist die Basis für die weitere Berechnung einer Vielzahl charakteristischer geometrischer Größen der Waferkante. Anhand dieser Größen erfolgt die automatische Gut-/Schlecht-Beurteilung.