Kantentests nach Semi T3/T4

Nach den SEMI-Richtlinien sind für die Beurteilung von Kantenprofilen standardisierte Prüfungen vorgesehen. Bei diesen Tests werden in konstanter Beziehung zueinander stehende Flächenelemente in das Kantenprofil projiziert. Für eine positive Beurteilung darf die Kontur der Waferkante diese Flächenelemente nicht schneiden.

Mit dem Messsystem WGI 300 kann für jeden Wafer automatisch ein Kantentest nach den Richtlinien SEMI T3 und T4 durchgeführt werden.