Wafer Geometry Inspector
Vorteile
- Berührungslose Messung durch Lichtschnitttechnik oder Profilprojektion
- Vollautomatische Messabläufe
- Ermittlung aller relevanten Kantengeometrieparameter von 300 mm-Wafern an beliebigen Positionen am Waferumfang und im Notch
- Vollständige Charaktersisierung der Notchgeometrie
- Berechnung der Dicke und Durchmesser
- Auswertungen nach SEMICON-Standards
- Höchste Genauigkeiten
- Frei von subjektiven Einflüssen
- Sehr kurze Messzeiten
- Kompakter Aufbau
- Aufstellort: Reinräume besser ISO 6
- Softwarepaket mit Fernwartungszugang
- Spezielles Operator-Bedienmodul
- Kurzer Amortisationszeitraum
