WGI 300 ist ein vollautomatisches Messsystem, mit dem die Kantenprofile von 300 mm Wafern mit höchster Präzision erfasst und geometrisch ausgewertet werden können. Der Wafer ist hierbei drehbar angeordnet, so dass die Profilmessung an beliebig vielen Positionen am Waferumfang erfolgen kann. Der durchdachte Messaufbau erlaubt sogar die vollständige geometrische Charakterisierung der Waferkante im Bereich des Notches.

Die absolute Orientierung des eingelegten Wafers erfasst ein hochauflösendes Flächenkamerasystem, wobei der Notch als Bezugspunkt dient. Dadurch ist jede Profilmessung exakt reproduzierbar. Eine simultane Aufsichtsmessung mit diesem Kamerasystem dient zur Kontrolle des Waferdurchmessers.

Die sehr hohen Messgenauigkeiten werden durch die Verwendung von Lichtschnittsensoren mit extrem kurzen Linienlängen erreicht. Jeder dieser Sensoren ist so justiert, dass er ein Drittel des Gesamtprofils an einer Messposition erfasst. Die Software setzt diese 3 Teilprofile automatisch zu einem Gesamtprofil zusammen. Zur Erhöhung der Wiederholgenauigkeit wird die Profilmessung an jeder Messposition mehrfach wiederholt und entsprechend gemittelt.

Mit Hilfe spezieller Algorithmen berechnet die Software aus diesen gemittelten Profilen jeweils die geometrische Kontur der Waferkante. Diese dient als Basis für alle weiteren geometrischen Auswertungen.

Zur gezielten Erfassung auch geringster Profilverformungen führt das System einen umfassenden geometrischen Vergleich zwischen der ermittelten Kontur und einer hinterlegten Sollkontur durch, wobei der Toleranzbereich frei wählbar ist.

Zu den Ergebnissen der umfangreichen Konturauswertungen zählen die für Waferkanten charakterischen Längen, Radien und Winkel. Hierbei werden Genauigkeiten von bis zu ±1 µm bzw. ±0,2° erreicht.

Die Aufsichtsmessung liefert die  geometrischen Kennwerte des Notches.

Die Beurteilung des Prüfteils erfolgt anhand der berechneten Parameter automatisch.

Für die Datenübertragung stehen Schnittstellen nach dem Standard SECS II/GEM zur Verfügung.

Aufgrund der Flexibilität eignet sich das Messsystem WGI 300 sowohl für Messaufgaben im Labor als auch für die Kontrolle und Einstellung verschiedener Prozessschritte in der Waferfertigung. Das Equipment Front End Module (EFEM) ist hierfür die perfekte Integrationslösung.